| 发明名称 |
TEMPERATURE CONTROLLER FOR LAMP ANNEALING FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62266385(A) |
申请公布日期 |
1987.11.19 |
| 申请号 |
JP19860106728 |
申请日期 |
1986.05.12 |
| 申请人 |
KOYO SEIKO CO LTD;KOYO RINDOBAAGU KK |
发明人 |
MIYOSHI SHINJI;OMICHI TOSHIHIKO |
| 分类号 |
F27B17/00;G05D23/27;H01L21/26 |
主分类号 |
F27B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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