发明名称 ELECTRON BEAM PATTERN GENERATOR CONTROL
摘要
申请公布号 GB2190567(A) 申请公布日期 1987.11.18
申请号 GB19860012009 申请日期 1986.05.16
申请人 * PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED 发明人 JOHN PERCY * SWETMAN
分类号 H01L21/027;H01J37/302;H01J37/317;(IPC1-7):G09G1/18;H01L21/02 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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