发明名称 TARGET STRUCTURE OF SPUTTERING COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS62260057(A) 申请公布日期 1987.11.12
申请号 JP19860308084 申请日期 1986.12.25
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP <WE> 发明人 ARUBAATO DANIERU GURATSUSAA
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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