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经营范围
发明名称
TARGET STRUCTURE OF SPUTTERING COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS62260057(A)
申请公布日期
1987.11.12
申请号
JP19860308084
申请日期
1986.12.25
申请人
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP <WE>
发明人
ARUBAATO DANIERU GURATSUSAA
分类号
C23C14/34;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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