发明名称 Isolation of semiconductor contacts
摘要 In a method of isolating segments of contacts on a substrate by laser scribing, a laser is directed on portions to be removed through the substrate.
申请公布号 US4705698(A) 申请公布日期 1987.11.10
申请号 US19860923350 申请日期 1986.10.27
申请人 CHRONAR CORPORATION 发明人 VAN DINE, JOHN
分类号 B23K26/00;H01L21/28;H01L27/142;(IPC1-7):B23K9/00 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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