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发明名称
FLOOR STRUCTURE OF CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPS62258052(A)
申请公布日期
1987.11.10
申请号
JP19860100512
申请日期
1986.04.30
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ASAKAWA TERUO
分类号
E04F15/00;E04F15/024
主分类号
E04F15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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