AUTOMATIC WAFER LOADING METHOD AND APPARATUS

摘要

Un poste de chargement automatique (10) d'un four à diffusion possède un dispositif de transport de cassettes et de tranches qui transporte de manière sélective, à l'aide d'une ensemble support (32) des cassettes (26) remplies de tranches depuis un poste de livraison (22) jusqu'à un poste de transfert (30) par l'intermédiaire duquel une cassette chargée (36) est abaissée pour suspendre l'ensemble de tranches (20) au-dessus de la cassette (26). Le dispositif de transposrt amène l'ensemble support (32) à libérer la cassette (26) et à engager les tranches (20) pour les transférer sous forme d'ensemble à un support (18) d'un tube (14) du four à diffusion. On inverse le processus pour décharger d'un support (18) du four les tranches (20) traitées et les charger dans une cassette (26). Le processus peut également être exécuté de manière séquentielle pour échanger des groupes de tranches (20) traitées sortant d'un support (18) de four avec des groupes de tranches (20) non traitées disposées dans des cassettes (26) à un poste de livraison (22). L'ensemble support est utilisé pour supporter sélectivement une cassette (26) ou un groupe de tranches (20) extraites d'une cassette, par le positionnement sélectif d'une paire de mâchoires (52, 62) par rapport à une cassette (26) ou à un groupe de tranches (20) en vue de les soutenir. Est également décrit un appareil (28, 29, 31) pour aligner les bords plats des tranches dans une cassette et, soulever sélectivement et séquentiellement chaque tranche dans la cassette en vue d'exposer à un balayage optique un bord desdites tranches.