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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Ausbilden einer Schicht durch plasmachemischen Prozess
摘要
申请公布号 DE3629000(C1) 申请公布日期 1987.10.29
申请号 DE19863629000 申请日期 1986.08.27
申请人 NUKEM GMBH, 6450 HANAU, DE 发明人 CAMPE, HILMAR VON, DIPL.-PHYS., 6380 BAD HOMBURG, DE;LIEDTKE, DIETMAR, 6369 NIDDERAU, DE;SCHUM, BERTHOLD, 6465 BIEBERGEMUEND, DE;WOERNER, JOERG, DIPL.-CHEM., 6451 GROSSKROTZENBURG, DE
分类号 C23C16/50;C23C16/509;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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