| 发明名称 |
WASTE GAS EXHAUST SYSTEM FOR VACUUM PROCESS APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2156236(B) |
申请公布日期 |
1987.10.28 |
| 申请号 |
GB19850007314 |
申请日期 |
1985.03.21 |
| 申请人 |
* ANELVA CORPORATION |
发明人 |
TSUTOMU * TSUKADA;ISHAO * ASHAISHI;TATSUNORI * KOIZUMI;KOUJI * IKEDA |
| 分类号 |
F04C25/02;B01D53/02;F04B37/16;F04C27/02;F04D19/04;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):B01D53/04 |
主分类号 |
F04C25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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