Electrostatic and magnetic lens for corpuscular beam apparatus.

摘要

Eine erfindungsgemäße elektrostatisch-magnetische-Linse besteht aus einer symmetrischen oder unsymmetrischen Magnetlinse (ML), der eine elektrostatische Immersionslinse überlagert ist. Eine Elektrode (RE) der Immersionslinse ist hierbei in Form eines Hohlzylinders ausgebildet, der im oberen Polschuh (OP) der Magnetlinse (ML) konzentrisch zu deren Symmetrieachse (OA) angeordnet wird und sich bis in den Bereich des Polschuhspaltes (SP) erstreckt. Der untere Polschuh (UP) der Magnetlinse (ML), der vorzugsweise auf Erdpotential liegt und zum Schutz gegen Kontamination mit einem Strahlführungsrohr (SF) aus magnetischem oder unmagnetischem Material ausgekleidet sein kann, bildet erfindungsgemäß die untere Elektrode der elektrostatischen Immersionslinse.