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经营范围
发明名称
WAFER HANDLING ARM
摘要
申请公布号
JPS62245645(A)
申请公布日期
1987.10.26
申请号
JP19870089964
申请日期
1987.04.14
申请人
VARIAN ASSOC INC
发明人
POORU EICHI DEITSUKU
分类号
B25J9/04;H01L21/00;H01L21/677
主分类号
B25J9/04
代理机构
代理人
主权项
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