| 发明名称 |
FORMATION OF LAMINATE THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62244089(A) |
申请公布日期 |
1987.10.24 |
| 申请号 |
JP19860089096 |
申请日期 |
1986.04.17 |
| 申请人 |
TOYOTA MOTOR CORP |
发明人 |
SHIMIZU TATSUHIKO;NAKANO KENJI |
| 分类号 |
H01L21/285;G02F1/133;G02F1/1333;G02F1/1343;G09F9/30 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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