| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINATING DIRECTION ERROR IN CRYSTAL SPECIMEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62241895(A) |
申请公布日期 |
1987.10.22 |
| 申请号 |
JP19870072950 |
申请日期 |
1987.03.26 |
| 申请人 |
SUTEFUEN HAU;DONARUDO ROJIYAASU |
发明人 |
SUTEFUEN HAU;DONARUDO ROJIYAASU |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/16;G01N23/207 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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