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发明名称 APPARECCHIATURA PER SOLLEVARE E TRATTENERE FETTE DI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1184234(B) 申请公布日期 1987.10.22
申请号 IT19850020710 申请日期 1985.05.15
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC 发明人 GARRETT CHARLES B
分类号 B65H29/46;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B28D/ 主分类号 B65H29/46
代理机构 代理人
主权项
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