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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DUENNEN OPTISCHEN SCHICHTEN MIT DEFINIERTEM BRECHZAHLPROFIL
摘要
申请公布号 DD250724(A1) 申请公布日期 1987.10.21
申请号 DD19860292021 申请日期 1986.06.12
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 BERNITZKI,HELMUT,DD;BOOKHAGEN,JENS,DD;HACKER,ERIK,DD;ORLAMUENDER,URSULA,DD
分类号 C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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