| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2146427(B) |
申请公布日期 |
1987.10.21 |
| 申请号 |
GB19840018927 |
申请日期 |
1984.07.25 |
| 申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NAOKI * AYATA;TADASHI * KONUKI;MASAO * KOSUGI |
| 分类号 |
G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/14;G01B11/26 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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