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发明名称 IMPROVED METHOD AND APPARATUS FOR EVAPORATION ARC STABILIZATION INCLUDING INITIAL TARGET CLEANING
摘要
申请公布号 GB2148329(B) 申请公布日期 1987.10.21
申请号 GB19840022333 申请日期 1984.09.04
申请人 * VAC-TEC SYSTEMS INC 发明人 CHARLES F * MORRISON
分类号 C23C14/34;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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