| 发明名称 |
WAFER PROBE HEAD, AND METHOD OF ASSEMBLING A WAFER PROBE HEAD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0220830(A3) |
申请公布日期 |
1987.10.21 |
| 申请号 |
EP19860307316 |
申请日期 |
1986.09.23 |
| 申请人 |
TEKTRONIX, INC. |
发明人 |
SANG, EMMANUEL;ESTABROOK, GARY L. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R1/06;G01R1/073;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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