CLOSURE ARRANGEMENT FOR AN EPITAXY REACTOR,申请号PL19860261871-传众专利搜索

发明名称	CLOSURE ARRANGEMENT FOR AN EPITAXY REACTOR
摘要
申请公布号	PL261871(A2)	申请公布日期	1987.10.19
申请号	PL19860261871	申请日期	1986.10.15
申请人		发明人
分类号	C30B25/08;C30B;C30B35/00;H01L21/02;(IPC1-7):C30B/	主分类号	C30B25/08
代理机构		代理人
主权项
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