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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62162267(U) 申请公布日期 1987.10.15
申请号 JP19860047370U 申请日期 1986.03.31
申请人 发明人
分类号 C30B15/10;C03B20/00;H01L21/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
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