发明名称 COMPOSITION FOR CLEANING SURFACE OF SUBSTRATE
摘要 The present invention relates to a composition for cleaning a surface of a substrate, which contains as main components, (a) a halogenated hydrocarbon solvent, (b) a fluorine-containing alcohol and (c) an organic acid.
申请公布号 DE3373561(D1) 申请公布日期 1987.10.15
申请号 DE19833373561 申请日期 1983.05.21
申请人 DAIKIN KOGYO CO., LTD. 发明人 HISAMOTO, IWAO;OMURE, YUKIO
分类号 C09D9/00;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 C09D9/00
代理机构 代理人
主权项
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