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发明名称 FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER INTERFEROMETRISKA MAETNINGAR.
摘要
申请公布号 FI874554(A0) 申请公布日期 1987.10.15
申请号 FI19870004554 申请日期 1987.10.15
申请人 SCANOPTICS OY 发明人 KAUPPINEN, JYRKI;RAESAENEN, JAAKKO;STENMAN, FOLKE
分类号 G01J;(IPC1-7):G01J/ 主分类号 G01J
代理机构 代理人
主权项
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