| 发明名称 | 宽量程半导体真空计 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种根据热传导原理和半导体PN结的感温特性而设计的宽量程半导体真空计。它能够实现粗、低、高真空的连续测量，解决了常规的真空测量中的衔接误差问题，减少了测量设备，使用方便。由于在规管中设置了一个补偿二极管，所以测量中不受环境温度变化的影响，测量精度高。在10-10<SUP>-1</SUP>帕压强范围内，测量信号达300毫伏以上，从而大大简化了测量线路。 | ||
| 申请公布号 | CN87200798U | 申请公布日期 | 1987.10.14 |
| 申请号 | CN87200798 | 申请日期 | 1987.02.05 |
| 申请人 | 合肥工业大学 | 发明人 | 李自鹏;钱三德;王先路;陈立仁;黄锡森 |
| 分类号 | G01L21/10;G01L21/00 | 主分类号 | G01L21/10 |
| 代理机构 | 机械工业部专利代理服务处 | 代理人 | 孙文彩 |
| 主权项 | 1、一种由半导体真空规管(G)和控制电路(L)构成的宽量程半导体真空计，其特征是：(1)、规管(G)中封装有由PN结(2)电阻网络(3)及欧姆结(4)构成的硅单晶芯片(1)和PN结补偿二极管(7)；(2)、控制电路(L)由测量桥路(L1)、信号放大电路(L2)和信号补偿电路(L3)组成，PN结补偿二极管(7)为测量桥路(L1)的一只桥臂。 | ||
| 地址 | 安徽省合肥市屯溪路 | ||