THIN FILM DEPOSITION APPARATUS,申请号GB19870021232-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	THIN FILM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号	GB8721232(D0)	申请公布日期	1987.10.14
申请号	GB19870021232	申请日期	1987.09.09
申请人	JOHNSON, E W	发明人
分类号	C23C18/02	主分类号	C23C18/02
代理机构		代理人
主权项
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