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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS62232140(A) 申请公布日期 1987.10.12
申请号 JP19870017464 申请日期 1987.01.29
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 BADEI ERUUKARE;RICHIYAADO REIMONDO GAANACHIE;ASHIYUUIN KANTEIRARU GATARIA
分类号 H01L21/76;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/8224;H01L21/8228;H01L27/082 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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