发明名称 PROCEDE DE FABRICATION PAR AUTO-ALIGNEMENT D'UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR COMPORTANT UN IGFET DE DIMENSION TRES FAIBLE
摘要
申请公布号 FR2496983(B1) 申请公布日期 1987.10.09
申请号 FR19810023714 申请日期 1981.12.18
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 JOSE SOLO DE ZALDIVAR
分类号 H01L27/088;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/72 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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