发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION PAR AUTO-ALIGNEMENT D'UN DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR COMPORTANT UN IGFET DE DIMENSION TRES FAIBLE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2496983(B1) |
申请公布日期 |
1987.10.09 |
申请号 |
FR19810023714 |
申请日期 |
1981.12.18 |
申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV |
发明人 |
JOSE SOLO DE ZALDIVAR |
分类号 |
H01L27/088;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/72 |
主分类号 |
H01L27/088 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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