VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERN,申请号DE19873709448-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERN
摘要
申请公布号	DE3709448(A1)	申请公布日期	1987.10.08
申请号	DE19873709448	申请日期	1987.03.23
申请人	SHARP K.K.	发明人	TAKIGUCHI,HARUHISA;KANEIWA,SHINJI;YOSHIDA,TOSHIHIKO;KUDO,HIROAKI;MATSUI,SADAYOSHI
分类号	H01L21/205;H01J37/30;H01L21/263;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/203;H01L21/26	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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