发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG VON HALBLEITERUEBERGAENGEN
摘要
申请公布号 DE3640713(A1) 申请公布日期 1987.10.08
申请号 DE19863640713 申请日期 1986.11.28
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. 发明人 BRUCE CAMPBELL,ROBERT
分类号 H01L31/04;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/228;H01L21/324 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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