发明名称 |
VERFAHREN ZUR BILDUNG VON HALBLEITERUEBERGAENGEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3640713(A1) |
申请公布日期 |
1987.10.08 |
申请号 |
DE19863640713 |
申请日期 |
1986.11.28 |
申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. |
发明人 |
BRUCE CAMPBELL,ROBERT |
分类号 |
H01L31/04;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/228;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L31/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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