监控光学镀膜厚度的双光束光学系统

摘要

监控光学镀膜厚度的双光束光学系统形式上和已有的透射式单光束光学系统相同，差别是在角可变滤光片(或单色仪出狭缝)之后置一块等双孔光栏，分单束光为参考和测量两束光，再用双排孔调制扇分别调制这两束光，使测量光束通过监控片，使参考光束从监控片旁边通过，于是构成全对称透射式双光束光学系统。它使电子学系统容易解决基线平直度、漂移、噪声、杂光信号和电磁场信号干扰，以致于真空室窗口溅射膜的影响都可以完全消除。

主权项

1.一种监控光学镀膜厚度的双光束光学系统，由光源、双孔光栏、调制器、透镜、监控片及接收器组成，其特征是：调制器为双排孔调制扇〔5〕，在光源〔2〕与等双孔光栏〔4〕之间置有角可变滤光片〔3〕，双排孔调制扇〔5〕、透镜〔6〕、监控片〔8〕及接收器〔10〕与光轴垂直依次置于等双孔光栏〔4〕之后，监控片〔8〕置于真空室中，与等双孔光栏〔4〕中通过测量光束的孔处在透镜〔6〕的共轭像面位置上。