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发明名称
摘要
申请公布号
JPS62157161(U)
申请公布日期
1987.10.06
申请号
JP19860044813U
申请日期
1986.03.28
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/08;H01L29/72;H03F3/34;H03F3/347;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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