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发明名称 Method for producing extremely thin line masks
摘要
申请公布号 US3036962(A) 申请公布日期 1962.05.29
申请号 US19590863004 申请日期 1959.12.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MCNUTT ROBERT D.
分类号 C25F3/14;C25F3/16 主分类号 C25F3/14
代理机构 代理人
主权项
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