发明名称 CLEANING JIG
摘要
申请公布号 JPS62224326(A) 申请公布日期 1987.10.02
申请号 JP19860066155 申请日期 1986.03.25
申请人 SEMICONDUCTOR RES FOUND 发明人 TAMAOKI YOSHIKATSU
分类号 A47K7/00;B08B1/00 主分类号 A47K7/00
代理机构 代理人
主权项
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