发明名称 BEHANDLUNGSVERFAHREN FUER ABFAELLE BEI DER HERSTELLUNG VON HOCHREINEM SILICIUM
摘要
申请公布号 DE3709577(A1) 申请公布日期 1987.10.01
申请号 DE19873709577 申请日期 1987.03.24
申请人 UNION CARBIDE CORP. 发明人 CALVIN BRENEMAN,WILLIAM;YANG,CHI-CHENG;HENNINGSEN,GUNNAR
分类号 B09B3/00;C01B33/02;C01B33/021;C01B33/029;C01B33/04;C01B33/08;C01B33/107;C02F1/04;(IPC1-7):B01D3/14 主分类号 B09B3/00
代理机构 代理人
主权项
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