摘要 |
METODO DE PRODUCIR ESTRUCTURAS DE BOQUILLAS DE SILICIO. CONSISTE EN: FORMAR UNA CAPA SUPERFICIAL SOBRE LA PRIMERA SUPERFICIE PRINCIPAL (14) DE LA SECCION (10) DE SILICIO; MORDENTAR ANISOTROPICAMENTE UNA CAVIDAD (12) A PARTIR DE LA SEGUNDA SUPERFICIE (16) DE LA SECCION DE SILICIO HACIA LA CAPA (17), ESTABLECIENDOSE UNA BARRERA ELECTROQUIMICA EN LA INTERFASE SILICIO/CAPA PARA DETENER EL MORDENTADO, REVISTIENDO LAS SUPERFICIES (16, 17) CON UN MATERIAL RESISTENTE AL MORDENTADO; Y MORDENTAR ANISOTROPICAMENE UN PASO (13) A TRAVES DE LA CAPA (17) DESDE LA PRIMERA SUPERFICIE DE LA SECCION DE SILICIO. TIENE UTILIDAD EN SISTEMAS DE IMPRESION CON CHORRO DE TINTA DE BOQUILLAS MULTIPLES.
|