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经营范围
发明名称
PIPE INNER-SURFACE ION INPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS62222199(A)
申请公布日期
1987.09.30
申请号
JP19860066879
申请日期
1986.03.24
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
KAIMOTO AKIRA
分类号
G21K1/093;B05B13/06;B05C7/00;H05H7/00
主分类号
G21K1/093
代理机构
代理人
主权项
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