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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0118102(A3) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 EP19840102143 申请日期 1984.02.29
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 NAKAZATO, KAZUO;NAKAMURA, TOHRU;MIYAZAKI, TAKAO;NATSUAKI, NOBUYOSHI;OGIRIMA, MASAHIKO;NAGATA, MINORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L29/72;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/285;H01L27/06 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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