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发明名称 A MICRO-DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0167277(A3) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 EP19850303845 申请日期 1985.05.31
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 YAMAMOTO, OSAMU;MATSUI, SADOYOSHI;TAKIGUCHI, HARUHISA;HAYASHI, HIROSHI;MIYAUCHI, NOBUYUKI
分类号 G01S17/08;G01B11/00;G01D5/26;H01S5/14;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01S17/08
代理机构 代理人
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