| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0174052(A3) |
申请公布日期 |
1987.09.30 |
| 申请号 |
EP19850201378 |
申请日期 |
1985.08.30 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
BEASLEY, JAMES PATRICK |
| 分类号 |
H01J37/16;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/18;H01J37/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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