| 摘要 |
<p>Four de déverminage de circuits intégrés (12) comprenant: une chambre (B) recevant les circuits (12); un premier organe (4) chauffant les circuits intégrés (12) dans la chambre (B), les circuits (12) étant alimentés avec les tensions d'alimentation; un organe de commande du premier organe (4), comprenant un ordinateur (15) servant au contrôle de la puissance consommée par les circuits (12), l'ordinateur (15) pouvant stocker des informations relatives au nombre de circuits (12) et pouvant produire, à partir de ladite puissance, un signal dépendant de la dissipation moyenne de puissance des circuits (12). L'organe de commande régule le chauffage des circuits (12) en fonction dudit signal. Est également décrit un four de déverminage de circuits intégrés (12), comprenant: une pluralité de chambres séparées (B) recevant les circuits (12) destinés à être déverminés, les circuits (12) étant alimentés avec les tensions d'alimentation; un premier organe (4) permettant de chauffer séparément chacune des chambres; un deuxième organe (6) refroidissant séparément chacune des chambres contenant les circuits (12), après leur déverminage, les circuits (12) étant toujours alimentés avec les tensions d'alimentation.</p> |
