| 发明名称 |
WAFER ALIGNMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2157078(B) |
申请公布日期 |
1987.09.30 |
| 申请号 |
GB19850002075 |
申请日期 |
1985.01.28 |
| 申请人 |
THE * PERKIN ELMER CORPORATION |
发明人 |
DANIEL N * GALBURT;JERE D * BUCKLEY |
| 分类号 |
H01L21/66;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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