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发明名称 MANUFACTURE OF HYDRIDE
摘要
申请公布号 JPS62219917(A) 申请公布日期 1987.09.28
申请号 JP19870017470 申请日期 1987.01.29
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 JIYON KAATAA MARINESU
分类号 H01L21/205;C01B6/00;C01B6/06;C01B25/06;C23C16/30;C23C16/44;C30B25/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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