DISPOSITIF COMPRENANT UN SUSCEPTEUR PLAN TOURNANT PARALLELEMENT A UN PLAN DE REFERENCE AUTOUR D'UN AXE PERPENDICULAIRE A CE PLAN

摘要

DISPOSITIF COMPRENANT UN SUSCEPTEUR PLAN TOURNANT PARALLELEMENT A UN PLAN DE REFERENCE AUTOUR D'UN AXE PERPENDICULAIRE A CE PLAN ET COMPORTANT DES MOYENS POUR OBTENIR LA STABILITE DU SUSCEPTEUR EN SUSTENTATION ET DES MOYENS POUR OBTENIR SON ENTRAINEMENT EN ROTATION, CARACTERISE EN CE QUE CES MOYENS SONT FORMES PAR LES STRUCTURES DU SUSCEPTEUR, DE L'AXE DE ROTATION ET DU PLAN DE REFERENCE, QUI COOPERENT SOUS L'ACTION D'UN OU PLUSIEURS FLUX GAZEUX.

APPLICATION: REALISATION DE COUCHES EPITAXIALES EN PHASE VAPEUR.