Process for the preparation of low carbon content silicon nitride.

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitridpulver mit einem geringen Kohlenstoffgehalt durch Behandlung von Siliciumnitridpulver in chlorgashaltiger Atmosphäre, wobei die Behandlung in der chlorgashaltigen Atmosphäre bei Temperaturen von 600 bis 1050°C durchgeführt und eine Behandlung in sauerstoffhaltiger Atmosphäre angeschlossen wird.