发明名称 SISTEMA DI CONTROLLO PER L'INSERIMENTO FORZATO DI IONI
摘要
申请公布号 IT1180011(B) 申请公布日期 1987.09.23
申请号 IT19840067301 申请日期 1984.03.28
申请人 VEECO AI INC. 发明人 GAULT ROBERT B.;KEUTZER LARRY L.
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):G01R/ 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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