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发明名称 WAERMEBEHANDLUNG ZUR DEFEKTNUKLEATION IN SILICIUM-SCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD249999(A1) 申请公布日期 1987.09.23
申请号 DD19860291342 申请日期 1986.06.17
申请人 VEB SPURENMETALLE FREIBERG,DD 发明人 REICHEL,JOHANNES,DD;SEVCIK,SIEGLINDE,DD;KIRSCHT,FRITZ-G.,DD;FRICKE,PETER,DD;KOSCHAK,BAERBEL,DD
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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