发明名称 A FURNACE SUITABLE FOR HEAT-TREATING SEMICONDUCTOR BODIES
摘要
申请公布号 EP0119654(B1) 申请公布日期 1987.09.23
申请号 EP19840200355 申请日期 1984.03.13
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 MCGINTY, GORDON KENNETH
分类号 H01L21/26;C30B25/10;H01L21/265;H05B3/00;(IPC1-7):H05B3/00 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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