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发明名称 METHOD OF AND ELECTRIC CIRCUIT ARRANGEMENT FOR GENERATING LOW-PRESSURE PLASMA IN A PROCESS CHAMBER
摘要
申请公布号 PL262252(A1) 申请公布日期 1987.09.21
申请号 PL19860262252 申请日期 1986.11.05
申请人 发明人
分类号 C23C;H05B7/16;H05H;H05H1/24;(IPC1-7):H05H/;C23C/ 主分类号 C23C
代理机构 代理人
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