发明名称 MANIPULATOR FOR CARRYING AND CHARGING
摘要
申请公布号 JPS62213978(A) 申请公布日期 1987.09.19
申请号 JP19860053638 申请日期 1986.03.13
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MATSUDA RYUICHI
分类号 B25J9/00;B25J9/02;B25J19/00;B65G1/02;B65G1/04;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J9/00
代理机构 代理人
主权项
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