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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62147340(U) 申请公布日期 1987.09.17
申请号 JP19870018065U 申请日期 1987.02.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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