压电陶瓷动态微位移补偿器

摘要

一种压电陶瓷动态微位移补偿器，属于非电变量的控制或调节系统，该补偿器用锆钛酸铅压电陶瓷片叠堆而成，片与片之间不加铜箔，而用真空离子镀渗工艺镀上2—3μm厚的铜层，其静动态性能良好，满量程线性误差小于0.6％；在500Hz以下，幅频特性近似一水平直线。为在机床加工中，对加工误差实现计算机补偿控制提供了一种动态响应好的补偿手段，以实现较低成本、更可靠地获得高精度和特高精度的工件。

主权项

1、一种压电陶瓷动态微位移补偿器，它包括高强度胶粘合、加压和烘烤的压电陶瓷片叠堆、极线[3]和外套[2]，本实用新型的特征在于，具有经过研磨保证两面的平面度及平行度误差均不大于0.3μm，在两面的同一直径上互相错开分别加工有小楔面，表面有用真空离子镀法镀上的厚度为2～3μm铜层，同极面的小楔面[5]对齐并焊成极点[4]，焊在极点[4]上的同一极的极线联在一起，从外套[2]的孔中引出的压电陶瓷片[1]。