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Kohlenstoffpulver, das in der Gasphase suspendiert ist, wird bei Temperaturen von 100 bis 450°C in einem prismenförmigen Behälter, der unten einen Boden und oben eine Öffnung aufweist, vertikal angeordnet ist und eine zentrosymmetrische Gaseinleitung besitzt, mit Hilfe eines Gases, das elementares Fluor enthält, fluoriert. Eine Reaktionstemperatur von 450°C soll nicht überschritten werden. Das Gas wird von oben kommend auf die Mitte des Bodens des Behälters geleitet, so daß das Kohlenstoffpulver im Gasstrom suspendiert wird.
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